典型技术指标

探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节；

加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座

满足1μm以上电极/PAD使用

应用领域

半导体材料光电检测功率器件测试MEMS测试PCB测试液晶面板测试测量表面电阻率测试精密仪器生产检测航空航天实验

预约说明

测试服务为客户携带转移样品来谱量光电实验室现场进行测试，测试需提前三个工作日进行预约，以便测试服务人员提前安排。