谱量光电研发制造的精密气浮隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求。上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。
气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率超静音压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。
技术参数：
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参数名称
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参数指标
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平面度
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≤0.05mm/m²
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表面粗糙度
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<0.6μm
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固有频率
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X方向: 1.2~2Hz, Y方向: 1.2~2Hz
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振幅
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<2μm
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螺孔间距
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25mm
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孔距公差
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±0.05mm
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螺孔规格
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M6（公制）
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螺孔公差
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±0.03mm
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载荷能力
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300Kg/m²
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台面厚度
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100mm/150mm/200mm/250mm/300mm
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台面重量
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120Kg/m²@100mm厚, 140Kg/m²@200mm厚, 165Kg/m²@300mm厚 (≈)
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产品选型表：
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产品型号
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尺寸 (㎜)
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载荷 (kg)
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支撑腿数量
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支架宽度 (㎜)
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PLGZQ-06
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600x600x800
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800
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4
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120x120
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PLGZQ-075
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750x750x800
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800
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4
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120x120
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PLGZQ-0906
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900x600x800
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800
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4
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120x120
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PLGZQ-1007
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1000x700x800
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800
|
4
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120x120
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PLGZQ-1008
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1000x800x800
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800
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4
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120x120
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PLGZQ-1208
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1200x800x800
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800
|
4
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120x120
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PLGZQ-1509
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1500x900x800
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1400
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4
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200x200
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PLGZQ-1510
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1500x1000x800
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1400
|
4
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200x200
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PLGZQ-1609
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1600x900x800
|
1400
|
4
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200x200
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PLGZQ-1812
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1800x1200x800
|
1400
|
4
|
200x200
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PLGZQ-2010
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2000x1000x800
|
1400
|
4
|
200x200
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PLGZQ-2012
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2000x1200x800
|
1400
|
4
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200x200
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PLGZQ-2015
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2000x1500x800
|
1400
|
4
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200x200
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PLGZQ-2412
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2400x1200x800
|
1400
|
4
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200x200
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PLGZQ-2415
|
2400x1500x800
|
2000
|
4
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200x200
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PLGZQ-3010
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3000x1000x800
|
2000
|
6
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200x200
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PLGZQ-3012
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3000x1200x800
|
2000
|
6
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200x200
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PLGZQ-3015
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3000x1500x800
|
2000
|
6
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200x200
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PLGZQ-3512
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3500x1200x800
|
2000
|
6
|
200x200
|
|
PLGZQ-3515
|
3500x1500x800
|
2000
|
6
|
200x200
|
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PLGZQ-4015
|
4000x1500x800
|
2500
|
6
|
200x200
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PLGZQ-4215
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4200x1500x800
|
2500
|
8
|
200x200
|
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PLGZQ-4815
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4800x1500x800
|
2500
|
8
|
200x200
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PLGZQ-5415
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5400x1500x800
|
2500
|
12
|
200x200
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PLGZQ-6015
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6000x1500x800
|
2500
|
12
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200x200
|
*各种尺寸规格均可按客户需求定制。
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