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发布时间：2026-02-24 20:35:45 人气：
谱量光电·微纳材料表征与测试服务
正式上线
微纳材料表征与测试服务介绍
经过一段时间的准备，谱量光电于26年初正式上线一系列微纳材料表征与材料测试相关服务，涵盖多功能高分辨扫描电镜，原子力显微镜，共聚焦拉曼测试，X 射线衍射仪，半导体器件探针台测试，光电测试系统等。若您有相关测试需求，欢迎联系客服了解详情。
下面介绍一下本测试中心相关设备，覆盖的测试内容，以及相关测试样例图片。
⭐设备型号 Zeiss GeminiSEM 500
⭐指标参数
加速电压0.02kV-30kV
最大束流20nA
配置探头Inlens、ETD、BSE、STEM、EDS（Oxford Ultim Extreme无窗）、EBSD（Oxford Symmetry超快）
分辨率1.1nm@1kV，0.6nm@15kV
⭐功能特色
等离子清洗
低电压高分子成像
双叉能谱探头
无窗EDS可测至Li元素
超快EBSD（可做TKD）
⭐应用领域
对晶体取向进行测量表征
对样品元素定量分析及空间分布扫描
对金属、陶瓷、半导体、生物样品进行纳米级高分辨观测
⭐测试项目
基础形貌表征、能谱分析、结构取向分析等
⭐设备型号 Bruker ICON 6
⭐指标参数
XY方向扫描范围90μm x 90μm
垂直方向扫描范围10μm
⭐功能特色
AFM、PFM、MFM、EFM、HV-PFM、CAFM、LFM、QNM、KPFM
⭐应用领域
材料表面性能检测
⭐测试项目
基础形貌表征
力学、电学、压电、极化等测试加工服务
⭐设备型号 HORIBA LabRAM HR Evolution
⭐指标参数
激发波长：325 nm, 350 – 1600 nm
光谱范围：220-2200 nm
光谱分辨率：0.2 nm
最小测试区域：1 μm x 1 μm
扫描台X-Y面扫描分辨率：10 nm
Z轴向分辨率：100 nm
扫描范围：75 mm x 50 mm
⭐测试能力
金属结构及二维材料检测
⭐测试项目
共聚焦形貌测试
拉曼光谱测试
非线性倍频检测
光致发光，电致发光，双光子荧光检测
光电流
⭐设备型号 Panalytlcal Empyrean
⭐指标参数
X射线发生器功率：4kW
测量角度-111°———168°
精度0.0001°
5轴欧拉样品台
⭐功能特色
小角度散射分析
硬辐射应用
极图
残余应力
2D XRD
⭐应用领域
晶体结构分析
⭐测试项目
材料表面分析和深度剖析
物相鉴定和定量
粒度分析
薄膜厚度及粗糙度分析
⭐设备型号
谱量光电—TLRH系列精密型基础测试探针台
KEITHLEY 2450型 数字源表
详情查看谱量商城：www.plctss.com
⭐适用样品
晶圆级器件
芯片裸片
光电探测器 / 晶体管 / MOS管等
⭐测试能力
I-V 特性测试
C-V 测试
漏电流与击穿电压
导通测试
⭐设备型号
PLEY-M 光致发光测试系统
ELCY-M 电致发光测试系统
PSC-TR 透反射积分球测试系统
详情查看谱量商城：www.plctss.com
⭐光致发光（PL）测试系统
量子效率、辐射光通量、发射光谱、亮度、色坐标等
⭐电致发光（EL）测试系统
亮度、色坐标、辐射通量、V-I 特性、EQE等
⭐透反射率（T/R）测试系统
透射率、反射率、吸收率测量
更多测试内容
限于篇幅无法展示测试中心的所有测试功能，有相关需求，请您联系客服询问了解。
