发布时间:2025-06-10 10:59:41 人气:
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首先将光纤阵列与平面波导芯片装配完成(夹持或真空吸附),一旦CHIP和光纤阵列FA被装好,使用视觉系统将各组件调整到合适位置,然后进行预装配工艺。如图1、图2所示,输入光纤阵列(输出光纤阵列同理)需要与平面波导器件做精确的平行定位。使用垂直和平行相机,所有位置仅用一次调整,就可实现平行定位的设置。夹具的精度将保证在以后的装配中保持其定位关系。
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图1 | 图2 |
组件装夹完成后,通过校正(1)光纤耦合位移台和显微镜的X、Y、Z方向的偏差来进行光纤与CHIP芯片大致对准。然后操作员通过图像(水平投影+垂直投影)显示出的各项偏差,然后手动调整来补偿偏差如图3所示。
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图3 |
b. 将光功率计移开,输入端不动,微调输出端XYZ,输出端光纤接上光功率计。然后反复微调整输出端,使得光功率不断接近去除CHIP芯片的光损耗最佳值。直至调节任意一轴光功率都会变差为止,此时系统处于光功率最佳位置(相对接近真实值),且输入与输出端与CHIP芯片基本耦合完成入如图4所示。
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图4 |
在此过程中,可以用输出光纤阵列第一个通道,延X轴的方向对波导各通道进行扫描,以测量其各通道的光功率如图5所示。在整个器件完成光耦合效率优化,并对输入及输出光纤阵列进行定位后,就可以使用自动点胶系统将各个器件进行粘接如图6所示。
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图5 |
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图6 |
松开夹具,取下物料。
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